大功率中频电源

SSTH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒。SSTH系列中频交流磁控溅射电源具备*特的电弧抑制功能，有效克服电弧对膜层造成的瑕疵，预警系统实时显示电源工作状态，以便及时排除潜在问题。电源特别适用于大功率反应溅射膜层，如Low-E玻璃生产线及金属非金属卷绕镀膜使用

电源功率范围	30-120KW
输入电源	AC380V三相四线制AC50-60HZ±10％
输出方式	准正弦波
输出频率	40KHZ
输出电压	空载1100V[有效值]
输出特性	恒流 恒压 恒功率
灭弧时间	≤3uS
输出电流稳定率	0.25％
负载持续率	**
冷却方式	水冷
使用环境	环境温度 0-40℃
                环境湿度 相对湿度≤85％
                空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水	        清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
                水温 20-30℃
                压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出数据可根据使用需要作相应调整