直流磁控溅射电源

SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及部分反应膜层环境使用。
电源功率范围	10-120KW
输入电源	AC380V三相四线制 50-60HZ±10％
输出方式	直流
输出电压	空载800V
灭弧时间	≤20uS
输出电流稳定率	0.5％
冷却方式	10-60KW风冷 60-120KW水冷
使用环境	环境温度 0-40℃
                环境湿度 相对湿度≤85％
                空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水   	清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
                水温 20-30℃
                压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整