中频交流磁控溅射电源

SS-T系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。电源输出频率设为典型的40KHZ。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。

电源功率范围	10-120KW
输入电源	AC380V三相四线制50-60HZ±10％
输出方式	交流正弦波
输出频率	40KHz
输出电压	空载1000V[有效值]
输出特性	恒流/恒功率
灭弧时间	≤3uS
输出稳定率	1％
冷却方式	2-10KW风冷 10-120KW水冷
使用环境	环境温度 0-40℃
                环境湿度 相对湿度≤85％
                空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水  	清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
                水温 20-30℃
                压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟/RS485/RS232

说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整